»ê¾÷ºÎ, ÷´Ü¡¤¼ÒºÎÀå ±¹³» º¹±ÍÁö¿ø¡¦Á¦µµ°³¼± ÃßÁø
[¼¿ï=´º½Ã½º] Á¤º´Çõ ±âÀÚ = ¾È´ö±Ù »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ Åë»ó±³¼·º»ºÎÀåÀÌ 20ÀÏ ¼¿ï Áß±¸ ´ëÇÑ»ó°øȸÀǼҿ¡¼ ¿¸° ¿Â½Ç°¡½º °¨Ãà Çù·Â ÁÖÇÑ´ë»ç °£´ãȸ¿¡¼ ¸ðµÎ¹ß¾ðÀ» ÇÏ°í ÀÖ´Ù. 2023.07.20. jhope@newsis.com
[¼¼Á¾=´º½Ã½º]À̽ÂÁÖ ±âÀÚ = ³»³âºÎÅÍ ±¹³» º¹±Í±â¾÷ÀÇ ¼¼Á¦ Áö¿øÀÌ °ÈµÇ´Â °¡¿îµ¥, ±¹°¡¡¤Ã·´ÜÀü·«»ç¾÷À̳ª ÷´Ü ¼ÒºÎÀå(¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ)ÀÇ Áö¿ø ºñÀ²ÀÌ ´õ Ä¿Áö´Â ¹æÇâÀ¸·Î Á¦µµ°³¼±ÀÌ ÃßÁøµÈ´Ù.
17ÀÏ »ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ¿¡ µû¸£¸é ³»³âºÎÅÍ ±¹³» º¹±Í±â¾÷¿¡ ´ëÇÑ ¼¼Á¦ Áö¿øÀÌ °ÈµÈ´Ù. Áö³´Þ ¹ßÇ¥µÈ ¼¼¹ý°³Á¤¾È¿¡ µû¸£¸é ¼Òµæ¼¼¡¤¹ýÀμ¼ °¨¸é±â°£ÀÌ ±âÁ¸ 7³â¿¡¼ 10³âÀ¸·Î È®´ëµÈ´Ù.
¾Æ¿ï·¯ °æÁ¦Àû ÆıÞÈ¿°ú°¡ Å« ±¹°¡¡¤Ã·´ÜÀü·«»ê¾÷À̳ª °ø±Þ¸Á Çٽɾ÷Á¾ÀÇ ±¹³» º¹±Í¸¦ È°¼ºÈÇϱâ À§ÇØ ÅõÀÚº¸Á¶±Ý Áö¿ø½Ã ±¹°¡¡¤Ã·´ÜÀü·«±â¼ú¿¡ ¿ì´ëÁö¿øÀ» ½Å¼³ÇÑ´Ù. ¼ÒºÎÀå ¾÷Á¾ Áö¿ø ºñÀ²°ú ±¹ºñ º¸Á¶À²À» »óÇâÇÏ´Â µî Á¦µµ °³¼±µµ ÃßÁø ÁßÀÌ´Ù.
À̸¦ À§ÇØ ¾È´ö±Ù »ê¾÷ºÎ Åë»ó±³¼·º»ºÎÀåÀº À̳¯ Á÷Á¢ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ ºÎÇ° ±¹³» º¹±Í±â¾÷ÀÎ Á¦ÀÌ¿£Á¦ÀÌ ¾Æ»ê°øÀåÀ» ã¾Ò´Ù. ¾Æ»ê°øÀåÀ» ã¾Æ »ý»ê½Ã¼³°ú ÅõÀÚ ¿¹Á¤ºÎÁö µîÀ» µÑ·¯º¸¸ç ±¹³» º¹±Í¿Í °ü·ÃÇÑ ÇöÀå¿¡¼ ¾î·Á¿òÀº ¾ø´ÂÁö, Á¤ºÎÁö¿ø¹æ¾È µî¿¡ ´ëÇØ ³íÀÇÇß´Ù.
Á¦ÀÌ¿£Á¦ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ ½Ä°¢°øÁ¤¿ë CVD SiC Focus RingÀ» ÁÖ·Î »ý»êÇϴ ÷´Ü±â¼ú º¸À¯¾÷ü´Ù. Áß±¹ ³Â¡ ¼ÒÀç »ç¾÷Àå ÀϺθ¦ Ãà¼ÒÇÏ°í 400¾ï¿øÀ» ÅõÀÚ, ±âÁ¸ °øÀå°ú À¯ÈÞºÎÁö¿¡ »ý»ê½Ã¼³À» Áõ¼³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù. Áö³ 10ÀÏ »ê¾÷ºÎ¿¡¼ ±¹³»º¹±Í±â¾÷ È®ÀÎÀ» ¹Þ¾Ò´Ù.
¾È º»ºÎÀåÀº "÷´Ü¡¤°ø±Þ¸Á ÇÙ½É ±â¾÷ÀÇ ±¹³» º¹±Í´Â ÅõÀÚ¡¤°í¿ë¡¤¼öÃâ µî °æÁ¦Àû È¿°ú´Â ¹°·Ð °ø±Þ¸Á ¾ÈÁ¤ Â÷¿ø¿¡¼ ¸Å¿ì Áß¿äÇÏ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Î Á¦µµ¸¦ °³¼±Çϸç ÀÌµé ±â¾÷ÀÇ ±¹³» º¹±Í¸¦ ÀüÆøÀûÀ¸·Î Áö¿øÇÏ°Ú´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
Ãâó ::: °ø°¨¾ð·Ð ´º½Ã½ºÅë½Å»ç :: (newsis.com)
* º¸µµÀÚ·á ÀÚ¼¼ÇÑ ³»¿ëÀº ÇÏ´ÜÀÇ ¸µÅ©¸¦ ÅëÇØ Âü°í ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù.
º¸µµÀÚ·á ¹Ù·Î°¡±â
À̽ÂÁÖ ±âÀÚ, "»ê¾÷ºÎ, ÷´Ü¡¤¼ÒºÎÀå ±¹³» º¹±ÍÁö¿ø¡¦Á¦µµ°³¼± ÃßÁø", ´º½Ã½º, 2023.08.17